<?xml version="1.0"?>
<rdf:RDF xmlns:rdf="http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#" xmlns:dc="http://purl.org/dc/elements/1.1/"><rdf:Description rdf:about="https://dk.um.si/IzpisGradiva.php?id=53419"><dc:title>Nanašanje tankih plasti po metodi curka ioniziranih skupkov, CIS</dc:title><dc:creator>Cvikl,	Bruno	(Avtor)
	</dc:creator><dc:subject>vakuumska tehnika</dc:subject><dc:subject>CIS</dc:subject><dc:subject>curek ioniziranih skupkov</dc:subject><dc:subject>tanke plasti</dc:subject><dc:subject/><dc:description>V članku je opisan postopek naparjevanja tankih plasti po metodi curka ioniziranih skupkov, ki rabi za nizkotemperaturno nanašanje in epitakso visokokvalitetnih tankih plasti.</dc:description><dc:publisher>Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije</dc:publisher><dc:date>1992</dc:date><dc:date>2015-07-10 20:24:31</dc:date><dc:type>Delo ni kategorizirano</dc:type><dc:identifier>53419</dc:identifier><dc:language>sl</dc:language></rdf:Description></rdf:RDF>