Meritve visokega in ultravisokega vakuuma z invertnim magnetronom in linearizacija karakteristik z nevronskim sistemomIrmančnik-Belič, Lidija (Avtor) Belič, Igor (Avtor) Erjavec, Bojan (Avtor) Šetina, Janez (Avtor) ionizacijski merilnikiinvertni magnetronjakost rayelektritvenevronski sistemlinearizacija karakteristikmodeliranjeInvertni magnetronski merilnik spada v skupino ionizacijskih merilnikov s hladno katodo (CCG). Ti merilniki imajo zanemarljivo termično razplinjavanje in nizko spodnjo merilno mejo ter so primerni za merjenje v visokem (VV) in ultra visokovakuumskem (UVV) področju. Pomanjkljivost teh merilnikov je nelinearnost in nezveznost toka v odvisnosti od tlaka ter časovno zakasnjen vžig razelektritve pri nižjih tlakih. Trenutno teorija delovanja merilnikov tlaka CCG še ne zmore dovolj natančno opisati povezave merjenega toka in drugih parametrov, kot so visoka napetost, gostota magnetnega polja, geometrija in material merilnika ter vrsta plina v notranjosti komore. Končnega uporabnika merilnika zanima predvsem linearnost odnosa med izmerjenim tokom in dejanskim tlakom v merilni komori. Prevedba nelinearne tokovne karakteristike invertnega magnetrona je navadno izvedena z logaritmičnimi pretvorniki ali odčitana v internih tabelah. V članku je prikazan model merilne glave z invertno magnetronsko geometrijo, ki je bil konstruiran na osnovi miniaturne ionsko razprševalne črpalke. Karakteristike merilnika so bile izmerjene na kalibracijskem UVV-sistemu za primerjalne meritve. Za primerjalni plin sta bila izbrana dušik in vodik. Prikazana je uporaba nevronskih sistemov za linearizacijo neželenih nelinearnosti med parametri merilnika in izhodnim tokom. Nevronski sistem se iz predstavljenih meritev nauči vhodno-izhodne preslikave parametrov CCG-merilnika.Inštitut za kovinske materiale in tehnologije20012016-04-08 17:40:34Članek v reviji58171sl