IZDELAVA MIKRO-VAKUUMSKEGA PRIJEMALA ZA POTREBE GRADNJE MEMS-ovBožič, Nina (Avtor) Šafarič, Riko (Mentor) Donlagić, Denis (Komentor) nano-robotmikro-prijemalonano-tehnologijeMEMSDiplomska naloga je razdeljena na dva večja dela. V prvem, teoretičnem delu sem se najprej posvetila raziskavi področja nano-tehnologije za potrebe gradnje MEMS-ov. Podanih je nekaj primerov uporabe le teh. Sledi pregled trenutno poznanih prijemal za potrebe mikro in nano-pozicioniranja. Teoretični del naloge se zaključi z opisom sistema nano-robotske celice, ki je v praktičnem delu uporabljen za izvedbo eksperimentov. V praktičnem delu naloge je predstavljen celoten razvoj in izdelava lastnega mikro- prijemala, ki deluje na vakuumskem principu. Vakuumsko mikro-prijemalo omogoča rokovanje z mikro-delci. Razvite so bile štiri različne variante mikro-vakuumskih prijemal, ki smo jih v okviru eksperimentov tudi preizkusili. V nalogi so podane osnovne smernice in napotki za razvoj te vrste prijemal.[N. Božič]20092009-09-19 09:17:30Diplomsko delo11815UDK: 007.52:620.3(043.2)COBISS_ID: 13701654NUK URN: URN:SI:UM:DK:FJCFOW8Jsl