ROBOTSKA CELICA S SUBMIKROMETRSKO RESOLUCIJOŠkorc, Gregor (Avtor) Šafarič, Riko (Mentor) Gotlih, Karl (Komentor) adaptivno vodenjepiezoelektrične napravesubmikrometrsko pozicioniranjeproizvodnja MEMSadaptivni sisteminanopozicioniranje.V okviru doktorske disertacije je predstavljen razvoj eksperimentalne robotske celice, ki je zmožna pozicioniranja s submikrometrsko natančnostjo. Robotska celica temelji na petih PiezoLEGS® motorjih, od katerih dva izmed njih formirata X/Y manipulator, ostali trije pa služijo kot podajalne mizice po Z osi. Konvencionalne izvedbe krmilnikov za vodenje PiezoLEGS® motorjev ne omogočajo avtomatske adaptacije parametrov gibanja motorja. Gibanje v visoki resoluciji botruje nizkim hitrostim, kar ob gibanju manipulatorja na daljše razdalje privede do velike potratnosti časa. Disertacija obravnavana adaptivno položajno vodenje robotske celice s konvencionalnem krmilnikom Trinamic TMC-090, ki je dodelan tako, da omogoča avtomatsko adaptacijo parametrov vodenja. Tri klasične tehnike položajnega vodenja so nadgrajene z adaptacijskim algoritmom in preizkušene v okviru testa odziva na stopnico in testa sledenja trajektoriji. Predstavljeni sistem robotske celice je zgrajen fleksibilno in omogoča integracijo različnih orodij. Kot praktični primer uporabe takega sistema je prikazana izvedba manipulacije z vakuumskim in piezoelektričnim prijemalom, ter mikroskopiranje z Akiyama sondo.G. Škorc]20112011-03-31 14:44:57Doktorska disertacija17933UDK: 004.896:681.513.6(043.3)COBISS_ID: 255754240NUK URN: URN:SI:UM:DK:EVJMFTVNsl