Tehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB)Zupanič, Franc (Avtor) fokusirani ionski curekmikroskopodvzemanje materialananašanje materialaFokusirani ionski curek (FIB) ima premer od 5 nm do nekaj mikrometrov. Ko ga uporabljamo kot mikroskop, je njegova ločljivost nekoliko slabša, kot je ločljivost vrstičnega elek- tronskega mikroskopa, vendar ima bistveno boljši orientacijski kontrast. Z njim lahko odvzemamo ali nanašamo material na izbranih mestih z natančnostjo vsaj 100 nm. Ta značilnost omogoča, da se uporablja v najrazličnejše namene, od popravila elektronskih vezij, preko 3D-mikroskopije, do izdelave najrazličnejših 3D-objektov v nano- in mikrometrskem področju. Kombinacija fokusiranega ionskega curka in vrstičnega elektronskega mikroskopa bistveno izboljša zmogljivosti obeh.Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije20062015-07-10 18:48:32Delo ni kategorizirano52975UDK: 531/533OceCobissID: 16059650COBISS_ID: 11145750ISSN pri članku: 0351-9716NUK URN: URN:SI:UM:DK:95GT5V0Osl