20.500.12556/DKUM-11815 IZDELAVA MIKRO-VAKUUMSKEGA PRIJEMALA ZA POTREBE GRADNJE MEMS-ov MICRO-VACUUM GRIPPER MANUFACTURING FOR MEMS ASSEMBLING Diplomska naloga je razdeljena na dva večja dela. V prvem, teoretičnem delu sem se najprej posvetila raziskavi področja nano-tehnologije za potrebe gradnje MEMS-ov. Podanih je nekaj primerov uporabe le teh. Sledi pregled trenutno poznanih prijemal za potrebe mikro in nano-pozicioniranja. Teoretični del naloge se zaključi z opisom sistema nano-robotske celice, ki je v praktičnem delu uporabljen za izvedbo eksperimentov. V praktičnem delu naloge je predstavljen celoten razvoj in izdelava lastnega mikro- prijemala, ki deluje na vakuumskem principu. Vakuumsko mikro-prijemalo omogoča rokovanje z mikro-delci. Razvite so bile štiri različne variante mikro-vakuumskih prijemal, ki smo jih v okviru eksperimentov tudi preizkusili. V nalogi so podane osnovne smernice in napotki za razvoj te vrste prijemal. The diploma work is divided to two main parts. In the first theoretical part, the presentation of several examples in the area of nano-technologies for MEMS production is done. Then, the survey of currently known grippers for the usage in the area of micro and nano-positioning is presented. The theoretical part ends with the description of nano-robotic cell, which is used in a practical part of the diploma work for the experiment execution. So, in the practical part is presented the whole development and production of our own vacuum micro-gripper. The vacuum micro gripper allows a handling with micro objects (parts). The four different variants of vacuum micro-grippers have been developed and experimentally tested. The diploma work presents the basic guidelines for this kind of grippers’ development. nano-robot mikro-prijemalo nano-tehnologije MEMS nano-robot micro-gripper nano-technologies MEMS true true false [N. Božič] Slovenski jezik Angleški jezik Diplomsko delo 2009-09-19 09:17:30 2009-09-21 13:35:32 2022-04-12 00:13:59 2022-04-18 03:25:35 2009 0 Maribor 0 0000-00-00 NiDoloceno NiDoloceno NiDoloceno 0000-00-00 0000-00-00 0000-00-00 007.52:620.3(043.2) 13701654 URN:SI:UM:DK:FJCFOW8J VS_Bozic_Nina_2009.pdf VS_Bozic_Nina_2009.pdf 1 D894C8B150991556E54809CA8136B160 ed285fe7c2ae14a4520793a06ae012f528516f45d23dbcd5e8059f39df5fe83e 3b9688ef-7c03-11eb-bb7a-00155d0001ca 20.500.12556/dkum/22249a27-c7ea-4474-8aaa-09c822ac9856 https://dk.um.si/Dokument.php?lang=slv&id=10764 Fakulteta za elektrotehniko, računalništvo in informatiko 0 0 0