20.500.12556/DKUM-38469 MINIATURNI TLAČNI IN TEMPERATURNO-TLAČNI OPTIČNI VLAKENSKI SENZORJI Miniature pressure and temperature-pressure fiber-optic sensors V magistrski nalogi je prikazana tehnologija izdelave miniaturnega vlakenskega tlačnega senzorja, ki je zaradi preprostih in malo številčnih procesnih korakov primerna za ceneno serijsko proizvodnjo. Tehnologija temelji na uporabi posebnega senzorskega vlakna, selektivnem jedkanju in mehansko-kemični obdelavi vrha optičnega vlakna. Celoten proizvodni proces je ob minimalnih nastavitvah in prilagoditvah parametrov izdelave primeren za izdelavo poljubno občutljivih tlačnih senzorjev. V sklopu naloge sta poleg tlačnega senzorja predstavljena še dva tipa miniaturnih kombiniranih tlačno-temperaturnih vlakenskih senzorjev, ki imata visoko tlačno občutljivost in široko temperaturno področje. V obeh primerih senzor predstavlja interferometer, ki je zgrajen iz dveh zaporednih Fabry-Perot resonatorjev. V prvem primeru je senzor izdelan na vrhu dovodnega enorodovnega vlakna. Zanj je narejen matematični model za izračun odbitega svetlobnega toka, ki potuje skozi dve oz. tri polprepustna zrcala. V drugem primeru je senzor izdelan na vrhu mnogorodovnega vlakna, ki senzorju omogoča cenovno ugodnejše signalno procesiranje in večjo robustnost. In presented M.Sc. thesis the technology and design of miniature fiber-optic pressure sensor was demonstrated. The production process consists of few steps that are suitable for low cost serial production. The technology is based on use of a special custom made optical fiber, selective etching, and micromachining of an optical fiber end. The production process is appropriate for design of pressure sensors having arbitrary pressure sensitivities, achieved with minimal adaptation of production parameters. Furthermore, thesis presented two different types of dual parameter sensors for simultaneous measurements of pressure and temperature. Sensors demonstrate high pressure sensitivity and broad temperature range. In both cases, interferometric sensor consists of two Fabry-Perot resonators in series at optical lead-in fiber end. In the first case, the sensor is integrated into a standard lead-in single-mode fiber. Conditions in single mode sensors are in detail described with mathematical model. In the second case, the sensor is integrated into a standard lead-in multimode fiber that in contrast to single mode sensor presents the possibility for reduction of signal processing costs. miniaturni vlakenski optični Fabry-Perot senzor interferometer dvo-parametrični senzorji simultano merjenje tlaka in temperature mikro-obdelava polirna naprava selektivno jedkanje posebna optična vlakna Miniature fiber-optic Fabry-Perot sensor interferometer dual parameter optical sensors measuring pressure and temperature simultaneously micromachining polishing device selective etching custom made optical fibers true true false [S. Pevec] Slovenski jezik Angleški jezik Magistrsko delo 2012-09-26 20:18:33 2012-11-21 14:22:03 2022-04-26 11:33:41 2021-04-17 03:43:37 2012 0 Maribor 0 0000-00-00 NiDoloceno NiDoloceno NiDoloceno 0000-00-00 0000-00-00 0000-00-00 681.586.34/.6(043) 16510742 URN:SI:UM:DK:F9D5LYH3 MAG_Pevec_Simon_2012.pdf MAG_Pevec_Simon_2012.pdf 1 F8999CC50C79A9DACD2CACD30C216078 6652ee3690da9dfa1b3cfb61361936a3a414a0e27844f939f3a11b7149dde9c1 00141aa2-7c08-11eb-bb7a-00155d0001ca 20.500.12556/dkum/cc501865-f16d-499c-8a8d-ad28095c3f4b https://dk.um.si/Dokument.php?lang=slv&id=51396 Fakulteta za elektrotehniko, računalništvo in informatiko 0 0 0