20.500.12556/DKUM-46942 MIKRO-OBDELAVA IN MIKRO-NAPRAVE IZ OPTIČNIH VLAKEN TEMELJEČE NA SELEKTIVNEM JEDKANJU IN DOPIRANJU S P2O5 Micromachining and microdevices from optical fibers based on the selective etching and P2O5 doping V doktorski disertaciji je predstavljena mikroobdelava optičnih vlaken temelječa na selektivnem jedkanju in dopiranju optičnih vlaken s P2O5. Tovrstna mikroobdelava je predstavljena kot zelo učinkovito orodje za realizacijo novih rešitev na področju načrtovanja in izvedbe optičnih senzorjev ter fotonskih naprav. Poleg najučinkovitejšega dopanta P2O5 so bili raziskani tudi drugi dopanti kot TiO2, GeO2, B2O3 in F, ki so vsi kompatibilni s proizvodnjo optičnih vlaken in imajo svojevrsten vpliv oz. uporabo v procesu selektivnega jedkanja. Raziskani so bili tudi pogoji jedkanja, kot so vpliv temperature, izbira jedkalnega medija, vpliv koncentracije jedkalnega medija in vpliv dodajanja različnih organskih topil. Na osnovi teh raziskav smo v nadaljevanju doktorske disertacije predstavili načrtovanje in rezultate več različnih fotonskih naprav in senzorjev, ki so bili izdelani na osnovi posebnih optičnih vlaken, dopiranih s P2O5. Podrobno so predstavljeni visoko občutljiv senzor raztezka, evanescentna linijska naprava z mikrožičko, senzor lomnega količnika z nanožičko, visoko občutljiv dvoparametrični senzor za merjenje temperature in lomnega količnika ter dvoparametrični senzor za merjenje tlaka in lomnega količnika. Vsem senzorjem in napravam so skupne popolna steklena zgradba, robustnost in miniaturna izvedba, ki v nobenem izmed primerov ne presega premera standardnega dovodnega vlakna (to je 125 m) ter ima aktivno dolžino krajšo od 1,5 mm. Vsi senzorji so načrtovani tako, da omogočajo enostavno rokovanje in pakiranje, zlasti tisti, izdelani na vrhu optičnega vlakna. Z doktorsko disertacijo želimo dokazati, da je tehnologija selektivnega jedkanja optičnega vlakna učinkovita, preprosta in zato primerna tudi za serijsko proizvodnjo, saj omogoča direktno in ekonomsko učinkovito izdelavo naprav na vrhu, vzdolž ali znotraj optičnega vlakna in s tem prispeva k novi generaciji miniaturnih, povsem vlakenskih mikrooptičnih naprav in novih rešitev na področju optičnih vlakenskih senzorjev. This doctoral thesis presents the micro-machining of optical fiber based on the selective etching and P2O5 doping. Micro-machining is presented as a highly effective tool for the realization of new solutions in the design of optical sensors and devices. Beside the most effective dopant P2O5, alsoother dopants like TiO2, GeO2, B2O3 and F were investigated, which are all compatible with the optical fibers production and have a unique effect on the selective etching. Etching conditions such as temperature effect, the choice of etching medium, the influence of the concentration of etching medium and the effect of adding different organic solvents have been investigated. Based on this research, various etching conditions on the selective etching, the design and experimental results of various photonic devices and sensors were presented. In detail a highly sensitive strain sensor, evanescent line device with a micro-wire, refractive index sensor with nano-wire, a highly sensitive two-parametric sensor for measuring temperature and refractive index, and the two-parametric sensor for pressure measurement and refractive index were presented. All sensors and devices have in a common full glass structure, robustness, and a miniature design, which in any of the cases does not exceed the diameter of a standard optical fiber (ie 125 m) and has an active length of less than 1.5 mm. All sensors are robust and allow easy handling and packaging, especially those designed and fabricated on the tip of the optical fiber. In this dissertation we want to prove that the technology of selective etching of an optical fiber is efficient, simple, and therefore suitable for mass production, because it allows direct and economically efficient production of devices at the tip, along or within the optical fiber, thereby contributing to a new generation of miniature, all fiber, micro-optical devices and new solutions in the field of the optical fiber sensors. mikroobdelava selektivno jedkanje s fosforjevim pentoksidom dopirana optična vlakna posebna optična vlakna optični senzorji Fabry-Perot večparametrični senzorji mikro- in nanožičke senzor lomnega količnika senzor lomnega količnika in temperature senzor lomnega količnika in tlaka. micromachining selective etching phosphorus pentoxide doped fibers special optical fibers Fabry-Perot optical sensor multi parameter sensors micro and nano wires refractive index sensor refractive index and temperature sensor refractive index and pressure sensor true true false [S. Pevec] Slovenski jezik Angleški jezik Doktorska disertacija 2014-11-27 23:54:56 2014-12-10 15:38:25 2022-05-19 03:06:49 2021-04-28 03:08:58 2014 0 Maribor 0 0000-00-00 NiDoloceno NiDoloceno NiDoloceno 0000-00-00 0000-00-00 0000-00-00 681.586:681.7.068(043.3) 277188864 URN:SI:UM:DK:KMRJZZX6 DOK_Pevec_Simon_2014.pdf DOK_Pevec_Simon_2014.pdf 1 8870E89C1C5719E438EE3715E42DF071 3face2c52018f03c5df27bffd66c42e28ca1bb1acf9c62b768ef25e46ccaa2bf 7893b938-7c0b-11eb-bb7a-00155d0001ca https://dk.um.si/Dokument.php?lang=slv&id=69288 Fakulteta za elektrotehniko, računalništvo in informatiko 0 0 0