20.500.12556/DKUM-52975 Tehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB) Technology of focussed ion beam (FIB) Fokusirani ionski curek (FIB) ima premer od 5 nm do nekaj mikrometrov. Ko ga uporabljamo kot mikroskop, je njegova ločljivost nekoliko slabša, kot je ločljivost vrstičnega elek- tronskega mikroskopa, vendar ima bistveno boljši orientacijski kontrast. Z njim lahko odvzemamo ali nanašamo material na izbranih mestih z natančnostjo vsaj 100 nm. Ta značilnost omogoča, da se uporablja v najrazličnejše namene, od popravila elektronskih vezij, preko 3D-mikroskopije, do izdelave najrazličnejših 3D-objektov v nano- in mikrometrskem področju. Kombinacija fokusiranega ionskega curka in vrstičnega elektronskega mikroskopa bistveno izboljša zmogljivosti obeh. Focussed ion beam has a diameter between 5 nm and a few micrometers. Its resolution is slightly worse than that of a scanning electron microscope; however, it possesses much better orientation contrast. It allows site-specific sputtering and deposition of materials with precision of at least 100 nm. This ability allows FIB application in different fields: repairing of electronic circuits, 3D-microscopy, 3D-fabrication of objects in nano- and micro regions. The combination of a scanning electron microscopeand a FIB provides enhanced capabilities of both. fokusirani ionski curek mikroskop odvzemanje materiala nanašanje materiala true false false Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije Slovenski jezik Angleški jezik Delo ni kategorizirano 2015-07-10 18:48:32 2015-07-10 18:48:32 2022-06-02 03:08:27 2019-07-11 07:58:24 2006 0 0 str. 4-9 št. 4 Letn. 26 2006 0000-00-00 NiDoloceno NiDoloceno NiDoloceno 0000-00-00 0000-00-00 0000-00-00 531/533 16059650 11145750 0351-9716 URN:SI:UM:DK:95GT5V0O http://www.dlib.si/details/URN:NBN:SI:doc-346GX77M 1 https://dk.um.si/Dokument.php?lang=slv&id=77534 Fakulteta za strojništvo 0 0 0