| Title: | IZDELAVA MIKRO-VAKUUMSKEGA PRIJEMALA ZA POTREBE GRADNJE MEMS-ov |
|---|
| Authors: | ID Božič, Nina (Author)
ID Šafarič, Riko (Mentor) More about this mentor... 
ID Donlagić, Denis (Comentor) |
|---|
| Files: |  VS_Bozic_Nina_2009.pdf (2,26 MB)
MD5: D894C8B150991556E54809CA8136B160
PID: 20.500.12556/dkum/22249a27-c7ea-4474-8aaa-09c822ac9856
|
|---|
| Language: | Slovenian |
|---|
| Work type: | Undergraduate thesis |
|---|
| Organization: | FERI - Faculty of Electrical Engineering and Computer Science
|
|---|
| Abstract: | Diplomska naloga je razdeljena na dva večja dela. V prvem, teoretičnem delu sem se najprej posvetila raziskavi področja nano-tehnologije za potrebe gradnje MEMS-ov. Podanih je nekaj primerov uporabe le teh. Sledi pregled trenutno poznanih prijemal za potrebe mikro in nano-pozicioniranja. Teoretični del naloge se zaključi z opisom sistema nano-robotske celice, ki je v praktičnem delu uporabljen za izvedbo eksperimentov. V praktičnem delu naloge je predstavljen celoten razvoj in izdelava lastnega mikro- prijemala, ki deluje na vakuumskem principu. Vakuumsko mikro-prijemalo omogoča rokovanje z mikro-delci. Razvite so bile štiri različne variante mikro-vakuumskih prijemal, ki smo jih v okviru eksperimentov tudi preizkusili. V nalogi so podane osnovne smernice in napotki za razvoj te vrste prijemal. |
|---|
| Keywords: | nano-robot, mikro-prijemalo, nano-tehnologije, MEMS |
|---|
| Place of publishing: | Maribor |
|---|
| Publisher: | [N. Božič] |
|---|
| Year of publishing: | 2009 |
|---|
| PID: | 20.500.12556/DKUM-11815 |
|---|
| UDC: | 007.52:620.3(043.2) |
|---|
| COBISS.SI-ID: | 13701654 |
|---|
| NUK URN: | URN:SI:UM:DK:FJCFOW8J |
|---|
| Publication date in DKUM: | 21.09.2009 |
|---|
| Views: | 3368 |
|---|
| Downloads: | 290 |
|---|
| Metadata: |    |
|---|
| Categories: | KTFMB - FERI
|
|---|
|
:
|
Copy citation |
|---|
| | | | Average score: | (0 votes) |
|---|
| Your score: | Voting is allowed only for logged in users. |
|---|
| Share: |  |
|---|
Hover the mouse pointer over a document title to show the abstract or click
on the title to get all document metadata. |
