| Title: | Meritve visokega in ultravisokega vakuuma z invertnim magnetronom in linearizacija karakteristik z nevronskim sistemom |
|---|
| Authors: | ID Irmančnik-Belič, Lidija (Author)
ID Belič, Igor (Author)
ID Erjavec, Bojan (Author)
ID Šetina, Janez (Author) |
|---|
| Files: |  http://www.dlib.si/details/URN:NBN:SI:DOC-V8HH2J1K
|
|---|
| Language: | Slovenian |
|---|
| Work type: | Article |
|---|
| Typology: | 1.01 - Original Scientific Article |
|---|
| Organization: | FVV - Faculty of Criminal Justice and Security
|
|---|
| Abstract: | Invertni magnetronski merilnik spada v skupino ionizacijskih merilnikov s hladno katodo (CCG). Ti merilniki imajo zanemarljivo termično razplinjavanje in nizko spodnjo merilno mejo ter so primerni za merjenje v visokem (VV) in ultra visokovakuumskem (UVV) področju. Pomanjkljivost teh merilnikov je nelinearnost in nezveznost toka v odvisnosti od tlaka ter časovno zakasnjen vžig razelektritve pri nižjih tlakih. Trenutno teorija delovanja merilnikov tlaka CCG še ne zmore dovolj natančno opisati povezave merjenega toka in drugih parametrov, kot so visoka napetost, gostota magnetnega polja, geometrija in material merilnika ter vrsta plina v notranjosti komore. Končnega uporabnika merilnika zanima predvsem linearnost odnosa med izmerjenim tokom in dejanskim tlakom v merilni komori. Prevedba nelinearne tokovne karakteristike invertnega magnetrona je navadno izvedena z logaritmičnimi pretvorniki ali odčitana v internih tabelah. V članku je prikazan model merilne glave z invertno magnetronsko geometrijo, ki je bil konstruiran na osnovi miniaturne ionsko razprševalne črpalke. Karakteristike merilnika so bile izmerjene na kalibracijskem UVV-sistemu za primerjalne meritve. Za primerjalni plin sta bila izbrana dušik in vodik. Prikazana je uporaba nevronskih sistemov za linearizacijo neželenih nelinearnosti med parametri merilnika in izhodnim tokom. Nevronski sistem se iz predstavljenih meritev nauči vhodno-izhodne preslikave parametrov CCG-merilnika. |
|---|
| Keywords: | ionizacijski merilniki, invertni magnetron, jakost rayelektritve, nevronski sistem, linearizacija karakteristik, modeliranje |
|---|
| Publication status: | Published |
|---|
| Publication version: | Version of Record |
|---|
| Publisher: | Inštitut za kovinske materiale in tehnologije |
|---|
| Year of publishing: | 2001 |
|---|
| Number of pages: | str. 415-420 |
|---|
| Numbering: | Letn. 35, št. 6 |
|---|
| PID: | 20.500.12556/DKUM-58171  |
|---|
| UDC: | 533.5 |
|---|
| ISSN on article: | 1580-2949 |
|---|
| COBISS.SI-ID: | 330847 |
|---|
| NUK URN: | URN:SI:UM:DK:NMNZWQ6M |
|---|
| Publication date in DKUM: | 19.03.2020 |
|---|
| Views: | 963 |
|---|
| Downloads: | 30 |
|---|
| Metadata: |    |
|---|
| Categories: | Misc.
|
|---|
|
:
|
Copy citation |
|---|
| | | | Average score: | (0 votes) |
|---|
| Your score: | Voting is allowed only for logged in users. |
|---|
| Share: |  |
|---|
Hover the mouse pointer over a document title to show the abstract or click
on the title to get all document metadata. |
