| Title: | Tehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB) |
|---|
| Authors: | ID Zupanič, Franc (Author) |
|---|
| Files: |  http://www.dlib.si/details/URN:NBN:SI:doc-346GX77M
|
|---|
| Language: | Slovenian |
|---|
| Work type: | Not categorized |
|---|
| Typology: | 1.04 - Professional Article |
|---|
| Organization: | FS - Faculty of Mechanical Engineering
|
|---|
| Abstract: | Fokusirani ionski curek (FIB) ima premer od 5 nm do nekaj mikrometrov. Ko ga uporabljamo kot mikroskop, je njegova ločljivost nekoliko slabša, kot je ločljivost vrstičnega elek- tronskega mikroskopa, vendar ima bistveno boljši orientacijski kontrast. Z njim lahko odvzemamo ali nanašamo material na izbranih mestih z natančnostjo vsaj 100 nm. Ta značilnost omogoča, da se uporablja v najrazličnejše namene, od popravila elektronskih vezij, preko 3D-mikroskopije, do izdelave najrazličnejših 3D-objektov v nano- in mikrometrskem področju. Kombinacija fokusiranega ionskega curka in vrstičnega elektronskega mikroskopa bistveno izboljša zmogljivosti obeh. |
|---|
| Keywords: | fokusirani ionski curek, mikroskop, odvzemanje materiala, nanašanje materiala |
|---|
| Publisher: | Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije |
|---|
| Year of publishing: | 2006 |
|---|
| Number of pages: | str. 4-9 |
|---|
| Numbering: | Letn. 26, št. 4 |
|---|
| PID: | 20.500.12556/DKUM-52975  |
|---|
| UDC: | 531/533 |
|---|
| ISSN on article: | 0351-9716 |
|---|
| COBISS.SI-ID: | 11145750 |
|---|
| NUK URN: | URN:SI:UM:DK:95GT5V0O |
|---|
| Publication date in DKUM: | 10.07.2015 |
|---|
| Views: | 2040 |
|---|
| Downloads: | 54 |
|---|
| Metadata: |    |
|---|
| Categories: | Misc.
|
|---|
|
:
|
Copy citation |
|---|
| | | | Average score: | (0 votes) |
|---|
| Your score: | Voting is allowed only for logged in users. |
|---|
| Share: |  |
|---|
Hover the mouse pointer over a document title to show the abstract or click
on the title to get all document metadata. |
