| Naslov: | Tehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB) |
|---|
| Avtorji: | ID Zupanič, Franc (Avtor) |
|---|
| Datoteke: |  http://www.dlib.si/details/URN:NBN:SI:doc-346GX77M
|
|---|
| Jezik: | Slovenski jezik |
|---|
| Vrsta gradiva: | Delo ni kategorizirano |
|---|
| Tipologija: | 1.04 - Strokovni članek |
|---|
| Organizacija: | FS - Fakulteta za strojništvo
|
|---|
| Opis: | Fokusirani ionski curek (FIB) ima premer od 5 nm do nekaj mikrometrov. Ko ga uporabljamo kot mikroskop, je njegova ločljivost nekoliko slabša, kot je ločljivost vrstičnega elek- tronskega mikroskopa, vendar ima bistveno boljši orientacijski kontrast. Z njim lahko odvzemamo ali nanašamo material na izbranih mestih z natančnostjo vsaj 100 nm. Ta značilnost omogoča, da se uporablja v najrazličnejše namene, od popravila elektronskih vezij, preko 3D-mikroskopije, do izdelave najrazličnejših 3D-objektov v nano- in mikrometrskem področju. Kombinacija fokusiranega ionskega curka in vrstičnega elektronskega mikroskopa bistveno izboljša zmogljivosti obeh. |
|---|
| Ključne besede: | fokusirani ionski curek, mikroskop, odvzemanje materiala, nanašanje materiala |
|---|
| Založnik: | Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije |
|---|
| Leto izida: | 2006 |
|---|
| Št. strani: | str. 4-9 |
|---|
| Številčenje: | Letn. 26, št. 4 |
|---|
| PID: | 20.500.12556/DKUM-52975  |
|---|
| UDK: | 531/533 |
|---|
| COBISS.SI-ID: | 11145750 |
|---|
| ISSN pri članku: | 0351-9716 |
|---|
| NUK URN: | URN:SI:UM:DK:95GT5V0O |
|---|
| Datum objave v DKUM: | 10.07.2015 |
|---|
| Število ogledov: | 2036 |
|---|
| Število prenosov: | 54 |
|---|
| Metapodatki: |    |
|---|
| Področja: | Ostalo
|
|---|
|
:
|
Kopiraj citat |
|---|
| | | | Skupna ocena: | (0 glasov) |
|---|
| Vaša ocena: | Ocenjevanje je dovoljeno samo prijavljenim uporabnikom. |
|---|
| Objavi na: |  |
|---|
Postavite miškin kazalec na naslov za izpis povzetka. Klik na naslov izpiše
podrobnosti ali sproži prenos. |
